Chinesische Unternehmen holen im Bereich der Chip-Herstellungsanlagen auf

Der chinesische Hersteller von Chip-Herstellungsanlagen SiCarrier, der eng mit Huawei zusammenarbeitet, hat mit der Ankündigung einer breiten Palette neuer Produkte Aufmerksamkeit erregt und signalisiert, dass chinesische Unternehmen im Sektor im globalen Wettbewerb aufholen.

China war in den letzten zwei Jahren der größte Käufer von Anlagen zur Halbleiterherstellung weltweit. Laut Daten der Informationsplattform der Halbleiterindustrie TechInsights kaufte China im vergangenen Jahr Anlagen im Wert von 41 Milliarden US-Dollar und erreichte einen Marktanteil von 40 % am globalen Handel.

Für 2025 wird erwartet, dass die Ausgaben Chinas für Maschinen zum ersten Mal seit 2021 auf 38 Milliarden US-Dollar sinken, mit einem Marktanteil von 20 % am globalen Handel, sagte der TechInsights-Analyst Boris Metodiev Anfang dieses Jahres. China war der globale Wachstumstreiber im Sektor der Halbleiterherstellungsanlagen in 2023 und 2024, und zahlreiche chinesische Unternehmen beschleunigten ihre Maschinenkäufe, um einem Engpass aufgrund von US-Sanktionen vorzubeugen.

Im Jahr 2020 begann die USA, den Export von Produkten aus dem Chip-Herstellungssektor einzuschränken, was China dazu veranlasste, noch mehr in die heimische Produktion zu investieren, und Präsident Xi Jinping forderte eine Verringerung der Abhängigkeit Chinas von ausländischen Lieferanten von Chip-Herstellungsanlagen. Inländische Unternehmen reagierten, indem sie ihr Maschinenangebot erweiterten, um im globalen Wettbewerb aufzuholen, und SiCarrier strebt beispielsweise an, Werkzeuge und Maschinen für alle Prozesse in der Halbleiterherstellung in sein Portfolio aufzunehmen.

Im vergangenen Jahr machten Maschinen, die in China produziert wurden, nur 11,3 % der gesamten chinesischen Käufe von Halbleiterherstellungsanlagen aus. Obwohl dieser Anteil recht niedrig ist, hat er sich im Vergleich zu 2020, als er bei 5,1 % lag, verdoppelt.

Mangel an fortschrittlichen Systemen

Die größte Schwäche Chinas im Bereich der Chip-Herstellungsmaschinen ist der Mangel an den fortschrittlichsten Lithographiesystemen, die benötigt werden, um Chips von sieben Nanometern und kleiner zu produzieren.

Der niederländische ASML ist der weltweit größte Hersteller solcher Systeme zur Strukturierung auf Substraten. Aufgrund des Drucks der USA kann ASML seit 2019 seine fortschrittlichsten Maschinen auf Basis der extrem ultravioletten (EUV) Lithografie nicht mehr an China verkaufen.

Dies hat chinesische Unternehmen gezwungen, weniger ausgeklügelte Systeme auf Basis der tief ultravioletten (DUV) Lithografietechnologie zu importieren, um in der Lage zu sein, Chips mit sieben Nanometern zu produzieren. Im vergangenen Jahr drohten die USA, China den Zugang zu ASMLs fortschrittlichen DUV-Lithografie-Tauchmaschinen zu verweigern.

Die Shanghai Micro Electronics Equipment Group (SMEE), das einzige chinesische Unternehmen mit kommerziell verfügbaren Lithographiesystemen, bietet Geräte an, die die Produktion von 90-Nanometer-Chips unterstützen können, was weit hinter den Maschinen von ASML zurückbleibt.

Die Patente von SiCarrier deuten darauf hin, dass das Unternehmen DUV-Lithographiesysteme entwickelt, aber das Startup hat diese Produkte noch nicht vorgestellt. In der Produktionslinie für fortschrittliche Halbleiterherstellung werden mehr als dreitausend Werkzeuge für Strukturierung, Verarbeitung und Inspektion verwendet. Laut Daten des Beratungsunternehmens IDC liegt Chinas Selbstversorgungsquote für Geräte, die Chips von sieben Nanometern oder weniger produzieren können, immer noch unter 10 %.

Andererseits hat Chinas Selbstversorgungsquote für Geräte, die zur Entfernung und Reinigung von Fotolackbeschichtungen verwendet werden, 50 % erreicht, erklärte Galen Zeng, ein leitender Analyst für den Halbleitersektor bei IDC.

Zu den chinesischen Herstellern dieser Werkzeuge gehören unter anderem Naura und ACM Research Shanghai.

Naura hat das umfangreichste Produktportfolio, das Maschinen für den Abscheidungsprozess umfasst, bei dem dünne Filme auf Siliziumwafer aufgebracht werden, sowie Maschinen und Werkzeuge für das Trockenätzen, die thermische Verarbeitung und die Reinigung. Das Unternehmen erzielte im Jahr 2024 einen Umsatz von 29,8 Milliarden Yuan (4,1 Milliarden US-Dollar), fünfmal mehr als im Jahr 2020.

Ein weiterer großer chinesischer Hersteller von Chip-Ausrüstung ist Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc (AMEC). Dieses Unternehmen konzentriert sich auf die Herstellung von Trockenätzwerkzeugen, die überschüssiges Material von der Oberfläche von Siliziumwafern entfernen, erweitert jedoch auch schnell seine Produktion von Abscheidegeräten.

Die Umsätze von AMEC haben sich seit 2020 vervierfacht und erreichten im vergangenen Jahr 9,1 Milliarden Yuan.